RIU00278K0-20TG

GaN 마이크로웨이브 장비
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설명

RFHIC RIU00278K0-20TG는 RF 가열 및 플라즈마 발생 응용을 위해 설계된 4채널 구성의 RF 제너레이터로, 총 2.5~8kW의 출력을 제공합니다. 27.12MHz에서 채널당 1W부터 2000W까지 출력 조절이 가능하며 CW와 펄스 출력을 모두 지원합니다. SSPA 헤드와 전원공급장치를 통합한 결합형(Combined) 시스템으로 원가 경쟁력과 시스템 유연성을 제공합니다.

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Datasheet

MW Heating and Drying
Medical Equipment
Semiconductor Equipment PVD, PECVD, Etch

제품 사양

Min Freq.(MHz) 25.8MHz
Max Freq.(MHz) 28.5MHz
Output Power(W) 8000W
Efficiency 70%
RF Output Connector 1-5/8" EIA
Cooling Forced Air Cooling + Water Cooling
Dimension(mm) 540 (W) x 680 (D) x 394 (H)
Weight 100kg