RIU003K0-20

GaN 마이크로웨이브 장비
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설명

RFHIC RIU003K0-20은 27.12MHz에서 100W부터 2500W까지 출력을 조절할 수 있는 2.5kW 4채널 반도체 마이크로파 제너레이터입니다. CW와 펄스 출력을 모두 지원하며, SSPA 헤드와 전원공급장치를 분리한 원격(Remote) 형 시스템 구조로 설치 자유도가 높습니다. 마이크로파 가열 및 플라즈마 발생 응용에 적합하며 안정적인 재현성과 신뢰성을 제공합니다.

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Datasheet

MW Heating and Drying
Medical Equipment
Semiconductor Equipment PVD, PECVD, Etch

제품 사양

Min Freq.(MHz) 25.8MHz
Max Freq.(MHz) 28.5MHz
Output Power(W) 2500W
Efficiency 60%
RF Output Connector HN Female (3/4-20UNEF-2A)
Cooling Forced Air Cooling + Water Cooling
Dimension(mm) 446 (W) x 640 (D) x 172 (H)
Weight 60kg